| 硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展* |
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| 引用本文： | 李显尧*,俞育德,余金中.硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展*[J].物理,2013(4). |
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| 作者姓名： | 李显尧* 俞育德 余金中 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 北京 100083 |
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| 摘 要： | 光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色,受到人们的广泛关注.随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进,光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点.文章介绍了功耗仅为540mW的热光开关,响应时间为4ns的电光开关和响应时间为25ps的全光开关,重点分析了这三种开关中存在的问题,并提出了解决方法,同时还探讨了开关在阵列化时应考虑的主要问题.
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| 关 键 词： | 光开关 硅光子学 绝缘层上的硅 光子集成 |
Thermo-optic, electro-optic, and all-optical switches and arrays |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical switch silicon photonics silicon-on-insulator(SOI) photonic integration |
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