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单根磷掺杂β-Ga2O3微米线日盲紫外探测器性能
作者单位:辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029;大连理工大学 微电子学院,辽宁 大连 116024
基金项目:国家自然科学基金;辽宁省自然科学基金;教育部卓越工程师教育培养计划项目产学合作协同育人项目
摘    要:

关 键 词:化学气相沉积  磷掺杂  β-Ga2O3微米线  紫外探测器
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