用CH3CSNH2钝化GaP表在特性的研究 |
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引用本文: | 林秀华,徐富春.用CH3CSNH2钝化GaP表在特性的研究[J].发光学报,2000,21(2):115-119. |
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作者姓名: | 林秀华 徐富春 |
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作者单位: | [1]厦门大学物理学系 [2]厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室 |
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摘 要: | 借助扫描电子显微镜(SEM)、X光电子能谱仪(XPS)研究在不同处理条件下,GaP晶片表面硫化物钝化对其结构、形态以及表面形貌的影响。实验结果表明:经过CH3CSNH2溶液一定时间钝化处理后,GaP表面氧化物基本消失,形成薄的硫化物钝化层和较强的Ga-S、P-S键,并引起X光电子能谱的Ga、P芯能级化学位移,Ga的硫化物有较好的稳定性。
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关 键 词: | 硫代乙酰胺 表面性质 钝化 |
修稿时间: | 1999-08-17 |
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