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用CH3CSNH2钝化GaP表在特性的研究
引用本文:林秀华,徐富春.用CH3CSNH2钝化GaP表在特性的研究[J].发光学报,2000,21(2):115-119.
作者姓名:林秀华  徐富春
作者单位:[1]厦门大学物理学系 [2]厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室
摘    要:借助扫描电子显微镜(SEM)、X光电子能谱仪(XPS)研究在不同处理条件下,GaP晶片表面硫化物钝化对其结构、形态以及表面形貌的影响。实验结果表明:经过CH3CSNH2溶液一定时间钝化处理后,GaP表面氧化物基本消失,形成薄的硫化物钝化层和较强的Ga-S、P-S键,并引起X光电子能谱的Ga、P芯能级化学位移,Ga的硫化物有较好的稳定性。

关 键 词:硫代乙酰胺  表面性质  钝化
修稿时间:1999-08-17
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