| 纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制 |
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| 引用本文： | 刘西锋,董汉鹏,夏善红.纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制[J].化学学报,2013,71(4):657-662. |
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| 作者姓名： | 刘西锋 董汉鹏 夏善红 |
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| 作者单位： | a 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 北京 100080;
b 中国科学院大学 北京 100080 |
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| 基金项目： | 项目受国家自然科学基金，国家863计划 |
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| 摘 要： | 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor). 基于微机电系统(Micro- Electro-Mechanical Systems, MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器, 通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜, 利用催化膜对氢气良好的催化特性, 采用惠斯通电桥电路进行测量, 实现对空气环境中氢气在0～4%浓度范围内的快速检测, 响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s, 灵敏度达75.4 mV/1% H2, 线性度为99.4%. 考察200 天内该传感芯片对氢气的检测能力, 传感芯片表现出良好的稳定性, 精确度保持在95%以上. 在绝缘层高温性能稳定的条件下, 将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测, 对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义.
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| 关 键 词： | 纳米氧化锡 催化燃烧传感器 微机电系统(MEMS) 氢气检测 |
Micromachined Catalytic Combustible Hydrogen Gas Sensor Based on Nano-structured SnO2 |
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| Liu Xifeng,Dong Hanpeng,Xia Shanhong.Micromachined Catalytic Combustible Hydrogen Gas Sensor Based on Nano-structured SnO2[J].Acta Chimica Sinica,2013,71(4):657-662. |
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| Authors: | Liu Xifeng Dong Hanpeng Xia Shanhong |
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| Institution: | a State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics/Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080;
b Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano tin oxide catalytic combustible gas sensor micro-electro mechanical system (MEMS) hydrogen detection |
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