| 溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性 |
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| 引用本文： | 林碧霞,傅竹西,贾云波,廖桂红.溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性[J].发光学报,2001,22(2):167-171. |
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| 作者姓名： | 林碧霞 傅竹西 贾云波 廖桂红 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学中国科学技术大学物理系,
2. 中国科学技术大学物理系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 5 9872 0 3 7)，安徽省科委自然科学基金 ( 9864 15 5 0 )，国家科委专项基金 (国科基字 [1998] 0 10号 )资
助 |
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| 摘 要： | 近紫外光发射氧化锌薄膜是一种新兴的发光材料，它的发光波长比氮化镓的蓝光波长更短，在光存储应用中可以进一步提高光存储的密度，因而在光电子领域具有重要应用价值而备受关注。在此介绍我们用直流反应溅射方法在硅衬底上生长的氧化锌薄膜，观察了它们的阴极射线发光和光致发光光谱，研究了发光与薄膜晶体结构，以及发光与激发电子束流的关系等。并从中推测出ZnO薄膜中的发光中心。
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| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜 阴极射线发光光谱 光致发光光谱 发光特性 溅射方法 半导体 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)02-0167-05 |
| 修稿时间： | 2000年6月27日 |
Growth and CL/PL Emission Properties of ZnO Films |
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| LIN Bi xia ,FU Zhu xi ,JIA Yun bo ,LIAO Gui hong.Growth and CL/PL Emission Properties of ZnO Films[J].Chinese Journal of Luminescence,2001,22(2):167-171. |
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| Authors: | LIN Bi xia FU Zhu xi JIA Yun bo LIAO Gui hong |
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| Institution: | LIN Bi xia 1,2,FU Zhu xi 1,2,JIA Yun bo 1,LIAO Gui hong 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | zinc oxide films CL spectra PL spectra luminescent properties |
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