| 干涉法测量多层透明膜系反射率 |
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| 引用本文： | 魏仁选,姜德生.干涉法测量多层透明膜系反射率[J].光学与光电技术,2003,1(4):39-42. |
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| 作者姓名： | 魏仁选 姜德生 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学光纤传感技术研究中心,国家光纤传感技术工业性实验基地,武汉,430070 |
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| 摘 要： | 应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片，并构成F-P干涉仪，根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值，计算出膜系反射率，避免了光源波动对测量结果的影响。在实验所用膜系的反射率小于98％时，测量误差小于0．09％。
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| 关 键 词： | 多层透明膜系 反射率 干涉法 光学测量 法布里-珀罗干涉 波长 薄膜 |
| 文章编号： | 1672-3392(2003)04-39-04 |
| 收稿时间： | 2003/3/5 |
| 修稿时间： | 2003年3月5日 |
Study on Interferometry for Reflectivity of Multilayer Transparent Films |
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| WEI Ren-xuan JIANG De-sheng.Study on Interferometry for Reflectivity of Multilayer Transparent Films[J].optics&optoelectronic technology,2003,1(4):39-42. |
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| Authors: | WEI Ren-xuan JIANG De-sheng |
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| Abstract: | Using interferometry reflectivity of transparent films is measured. The transparent films are deposited on thin glasses that formed a Fabry-Perot interferometer. The films' reflectivity values to be measured are calculated from the free spectral range and full width at half maximum of transmission spectrum. Thus the measurement error arose from light source power fluctuation is eliminated. The measurement error is less than 0.09% when the reflectivity of film is less than 98% in the experiment. |
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| Keywords: | transparent films reflectivity Fabry-Perot interferometry wavelength |
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