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| 交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作 | |
| 引用本文： | 李晓明,郝瑞亭,倪海桥,牛智川.交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作[J].云南师范大学学报(自然科学版),2022(2):9-13. |
| 作者姓名： | 李晓明 郝瑞亭 倪海桥 牛智川 |
| 摘 要： | 设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SVC型微镜偏转角度较大的优点,又避免了使用SOI衬底导致背面套刻精度差的缺点,提高了整个... |
| 关 键 词： | 光刻 键合 垂直交错梳齿 MEMS 微镜 |