| 差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用 |
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| 作者姓名： | 汤兆鑫 黄玮 许伟才 刘立峰 徐象如 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033;
2. 中国科学院大学, 北京 100049;
3. 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033 |
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| 基金项目： | 国家重大科学专项资助项目 |
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| 摘 要： | 为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管.该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描法波前检测中质心标定不准确而引入的倾斜和离焦的误差量.通过搭建差分五棱镜扫描法波前检测系统验证了此方法的可行性,并给出差分五棱镜扫描法误差分析说明此方法可靠性.误差分析表明,该方法检测精度可以达到10.54 nm;实验结果表明,该方法相比于五棱镜扫描法分别在波面峰谷值(PV)和均方根值(RMS)的重复性精度上提高了74.41%和125.81%.该方法基本满足平行光管波前检测精度高、稳定性好的要求,可以客观准确地评价平行光管出射波前质量.
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| 关 键 词： | 波前检测 差分五棱镜扫描法 平行光管 误差分析 |
| 收稿时间： | 2014-09-23 |
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