| SnO_2薄膜的红外光谱和表面光电压谱的研究 |
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| 引用本文： | 戴国瑞,姜月顺,王雅静,董玺娟,汤大新,李铁津.SnO_2薄膜的红外光谱和表面光电压谱的研究[J].半导体学报,1989,10(11):871-877. |
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| 作者姓名： | 戴国瑞 姜月顺 王雅静 董玺娟 汤大新 李铁津 |
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| 作者单位： | 吉林大学 长春
(戴国瑞，姜月顺，王雅静，董玺娟，汤大新)，吉林大学 长春(李铁津) |
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| 摘 要： | 本文采用PECVD方法制备了SnO_2薄膜,对薄膜进行了红外光谱和表面光电压谱测量发现,薄膜表面化学吸附O_2~(2-)和O~-离子基团,成为反应活性中心、电子转移的桥梁,推测了SnO_2表面与乙醇气体敏感反应历程.SnO_(?)薄膜淀积在n-Si上,使其表面光电压信号增强二个数量级以上,我们认为是SnO_2/n-Si异质结作用和消反射作用的结果.
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| 关 键 词： | SnO2 薄膜 红外光谱 表面光电压谱 |
Study on IR SPV Spectram of the SnO_2 Films |
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| Dai Guorui/Jilin University,ChangchunJiang Yueshun/Jilin University,ChangchunWang Yajing/Jilin University,ChangchunDong Xijuan/Jilin University,ChangchunTang Daxin/Jilin University,ChangchunLi Tiejin/Jilin University,Changchun.Study on IR SPV Spectram of the SnO_2 Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,1989,10(11):871-877. |
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| Authors: | Dai Guorui/Jilin University ChangchunJiang Yueshun/Jilin University ChangchunWang Yajing/Jilin University ChangchunDong Xijuan/Jilin University ChangchunTang Daxin/Jilin University ChangchunLi Tiejin/Jilin University Changchun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO_2 films Infrared spectroscopy Sensing mechanism Surface photovoltaic spectroscopy |
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