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| Ni／Si,Pt／Si,Ir／Si条的As离子注入和退火 | |
| 引用本文： | 吴春武,刘家瑞.Ni／Si,Pt／Si,Ir／Si条的As离子注入和退火[J].半导体学报,1989,10(9):659-666. |
| 作者姓名： | 吴春武 刘家瑞 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 离子注入 离子速混合 硅化物 |
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