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| 固体薄层纵深分析研究——Ⅱ.钢、铝合金和钛合金溅射速率的测定 | |
| 作者姓名： | 齐芸馨 |
| 作者单位： | 机械电子部五二研究所 内蒙古包头，014034 天津电子材料研究所测试中心工作，天津市55号信箱，邮政编码 300192 |
| 摘 要： | 用PHI 600型扫描俄歇探针、200型台阶仪和Q-920型图象分析仪,测定了35Cr Ni3MoV钢、Al-5.5 Zn-1.4Mg合金和Ti-5Al-2.5Sn合金的溅射速率,提出了对蚀坑分部位确定溅射速率的方法。文中给出了详细的测定结果。 |
| 关 键 词： | 溅射速率 钢 铝合金 钛合金 扫描俄歇探针 |
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