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| 一种高压集成电容结构的可靠性研究 | |
| 作者姓名： | 王坤 谭开洲 唐昭焕 殷万军 罗俊 黄磊 王斌 |
| 作者单位： | 重庆邮电大学;模拟集成电路重点实验室;中国电子科技集团公司第二十四研究所; |
| 摘 要： | 针对一种下极板独立的700V高压集成电容,进行了瞬态可靠性研究。研究表明,随着电容下极板尺寸的增加,电容的瞬态可靠性下降。用器件仿真软件MEDICI计算得出,在瞬态电压上升沿为200ns的情况下,电容下极板最大可靠宽度为124μm;同时,还得出一系列上升沿时间小于200ns的电容结构下极板最大可靠宽度。 |
| 关 键 词： | 高压集成电路 电容 可靠性 |
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