a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光阀光敏层的光学特性研究 |
| |
引用本文: | 连雪艳,蒋向东,王继岷,刘韦颖,伍海峰.a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光阀光敏层的光学特性研究[J].半导体光电,2015,36(6):939-941,945. |
| |
作者姓名: | 连雪艳 蒋向东 王继岷 刘韦颖 伍海峰 |
| |
作者单位: | 电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054 |
| |
基金项目: | 国家自然科学基金项目(51372032) |
| |
摘 要: | 采用射频磁控溅射法制备了用于液晶光阀光敏层的a-Si1-x(CdTe)x∶H薄膜.研究了CdTe含量对氢化非晶硅薄膜光学性能的影响.采用扫描电镜(SEM)、X光电子能谱(XPS)、椭偏仪等测试手段对薄膜的表面形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明,薄膜的折射率和吸收系数均随x值的增大而增大;而光学带隙E.pt随x值的增大从2.01 eV降到1.75 eV.薄膜在可见光范围内透过率随着x值的增大而有所降低,且吸收边发生红移.
|
关 键 词: | 射频磁控溅射 a-SiCdTe H薄膜 光学带隙 |
收稿时间: | 3/9/2015 12:00:00 AM |
本文献已被 万方数据 等数据库收录! |
| 点击此处可从《半导体光电》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《半导体光电》下载免费的PDF全文 |
|