| ZnO基紫外探测器的制作与研究 |
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| 引用本文： | 杨晓天,刘博阳,马艳,赵佰军,张源涛,杨天鹏,杨洪军,李万程,刘大力,杜国同. ZnO基紫外探测器的制作与研究[J]. 发光学报, 2004, 25(2): 156-158 |
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| 作者姓名： | 杨晓天 刘博阳 马艳 赵佰军 张源涛 杨天鹏 杨洪军 李万程 刘大力 杜国同 |
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| 作者单位： | 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023;吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划(20011AA311130)，国家自然科学基金(60177007,60176062) |
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| 摘 要： | 利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P-MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进行氮掺杂获得高阻ZnO薄膜。利用ZnO的宽禁带与高光电导特性,结合MSM(金属-半导体-金属)结构器件响应度高、速度快、随偏压变化小、工艺简单、易于单片集成等优点,制作了ZnO基紫外探测器,器件规格为80 μm×100μm,电极为叉指式电极。测试中采用500 W的氙灯做测试光源,探测器的Ⅰ-Ⅴ特性曲线显示;正向偏压下探测器的暗电流及光照电流与外加偏压呈线性增长。不同波长下的响应曲线显示:探测器对紫外波段有响应,响应峰值在375nm附近。
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| 关 键 词： | 等离子体辅助金属有机化学气相沉积 ZnO薄膜 紫外探测器 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)02-0156-03 |
| 修稿时间： | 2003-03-17 |
Fabrication and Study of ZnO UV Photodetector |
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| YANG Xiao-tian,LIU Bo-yang,MA Yan,ZHAO Bai-jun,ZHAHG Yuan-tao,YANG Tian-peng,YANG Hong-jun,LI Wan-cheng,LIU Da-li,Guo-tong State Key Laboratory on Integrated Opto-electronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun ,China. Fabrication and Study of ZnO UV Photodetector[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004, 25(2): 156-158 |
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| Authors: | YANG Xiao-tian LIU Bo-yang MA Yan ZHAO Bai-jun ZHAHG Yuan-tao YANG Tian-peng YANG Hong-jun LI Wan-cheng LIU Da-li Guo-tong State Key Laboratory on Integrated Opto-electronics College of Electronic Science Engineering Jilin University Changchun China |
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| Affiliation: | YANG Xiao-tian,LIU Bo-yang,MA Yan,ZHAO Bai-jun,ZHAHG Yuan-tao,YANG Tian-peng,YANG Hong-jun,LI Wan-cheng,LIU Da-li,Guo-tong State Key Laboratory on Integrated Opto-electronics,College of Electronic Science and Engineering,Jilin University,Changchun 130023,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma assisted MOCVD ZnO thin film ultraviolet detector |
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