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V形槽硅微通道冷却器研制
引用本文:李奇峰,吕文强,武德勇,唐淳. V形槽硅微通道冷却器研制[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(Z1): 114-116
作者姓名:李奇峰  吕文强  武德勇  唐淳
作者单位:中国工程物理研究院,应用电子学研究所,四川,绵阳,621900
基金项目:中国工程物理研究院基金资助课题
摘    要:报道了V形槽硅微通道冷却器的结构和主要制作工艺,研制了冷却器样品.性能测试结果表明冷却器在供水压力为2×105Pa时,封装面热阻尼系数为 0.051 ℃·cm2/W,能够用于封装峰值功率密度达到1 kW/cm2、工作占空比大于10%的激光二极管面阵.其冷却能力与数值模拟结果较吻合,尚存在流量较小的问题,原因可能在于导流槽内存在较大的水头损失,同时与导流槽的结构有关.

关 键 词:V形槽   硅微通道冷却器   热阻   激光二极管面阵
文章编号:1001-4322(2005)S0-0114-03
修稿时间:2004-11-22

Fabrication of V-shaped silicon microchannel cooler
LI Qi-feng,L Wen-qiang,WU De-yong,TANG Chun. Fabrication of V-shaped silicon microchannel cooler[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17(Z1): 114-116
Authors:LI Qi-feng  L Wen-qiang  WU De-yong  TANG Chun
Affiliation:LI Qi-feng,L(U) Wen-qiang,WU De-yong,TANG Chun
Abstract:
Keywords:V shaped grooves  Silicon microchannel cooler  Thermal impedance  Laser diode arrays
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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