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多晶硅制绒工艺研究
引用本文:李艳芝,周水生,刘东林.多晶硅制绒工艺研究[J].人工晶体学报,2012(Z1):368-371.
作者姓名:李艳芝  周水生  刘东林
作者单位:山西潞安太阳能科技有限责任公司
摘    要:本文讨论了多晶硅制绒工艺技术,对比多晶硅在碱混合液和酸混合液中制绒,酸溶液制绒能更好的改善多晶硅表面减反射作用。采用显微镜及模拟日光器对电池性能检测分析,结果表明,不同绒面的多晶硅电池电学性能参数存在差异,并对多晶硅的最佳刻蚀深度进行了总结。

关 键 词:制绒  多晶硅  刻蚀深度  转换效率
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