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| 微系统与纳系统技术（上） | |
| 引用本文： | 周兆英,冯焱颖.微系统与纳系统技术（上）[J].世界电子元器件,2001(9):26-29. |
| 作者姓名： | 周兆英 冯焱颖 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
| 摘 要： | 微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术最终开发目标之一,是21世纪技术发展的热点。作为IC的扩展和大规模微结构器件在小空间中的高度集成,我们的读者在陌生中可能会感到一丝熟悉。 |
| 关 键 词： | 微系统 纳系统 微米纳米技术 |
Micro System & Nano System |
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