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| 5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应 | |
| 作者姓名： | 洪啸吟 刘丹 李钟哲 刘密新 |
| 作者单位： | 清华大学化学系, 北京 100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;北京市重点自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 5-硝基二氢苊的光氧化作用在无显影气相光刻中起着重要作用。我们通过红外,核磁共振、色质联用等手段对其光氧化产物进行了分析,并合成了有关化合物进行对照,确认5-硝基二氢苊的主要光氧化产物是5-硝基苊、5-硝基二氢苊酮、羟基-5-硝基二氢苊。 |
| 关 键 词： | 无显影气相光刻、5-硝基二氢苊 光氧化作用 羟基-5-硝基二氢苊 |
| 收稿时间： | 1991-09-11 |
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