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5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应
引用本文:
洪啸吟,刘丹,李钟哲,刘密新.5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应[J].影像科学与光化学,1992,10(4):332-339.
作者姓名:
洪啸吟
刘丹
李钟哲
刘密新
作者单位:
清华大学化学系, 北京 100084
基金项目:
国家自然科学基金;北京市重点自然科学基金资助项目
摘 要:
5-硝基二氢苊的光氧化作用在无显影气相光刻中起着重要作用。我们通过红外,核磁共振、色质联用等手段对其光氧化产物进行了分析,并合成了有关化合物进行对照,确认5-硝基二氢苊的主要光氧化产物是5-硝基苊、5-硝基二氢苊酮、羟基-5-硝基二氢苊。
关 键 词:
无显影气相光刻、5-硝基二氢苊
光氧化作用
羟基-5-硝基二氢苊
收稿时间:
1991-09-11
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