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| 绝对式光栅尺细分误差补偿方法 | |
| 引用本文： | 乔栋,续志军,吴宏圣,曾琪峰,刘阳,孙强. 绝对式光栅尺细分误差补偿方法[J]. 光学学报, 2015, 35(1): 112008 |
| 作者姓名： | 乔栋 续志军 吴宏圣 曾琪峰 刘阳 孙强 |
| 作者单位： | 乔栋:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 续志军:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 吴宏圣:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 曾琪峰:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 刘阳:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 孙强:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项(2013ZX04007021) |
| 摘 要： | 为了提高绝对式光栅尺的细分精度,提出了一种细分误差补偿方法。对绝对式光栅尺A、B两路叠栅条纹信号进行傅里叶分析,建立叠栅条纹信号模型;对信号模型中的相位、振幅、谐波、直流分量进行校正,得到理想叠栅条纹信号的模型;对比实际信号模型和理想信号模型的细分位置,得到绝对式光栅尺的细分误差;根据该误差对细分值进行补偿,提高细分精度。通过使用JC09型绝对式光栅尺对该方法进行验证,可使其细分相对误差从2.70%降低到1.05%。实验结果表明,该方法能够有效地提高绝对式光栅尺细分精度,且该方法具有原理简单、易于实现的优点。 |
| 关 键 词： | 测量 细分误差 傅里叶分析 绝对式光栅尺 叠栅条纹 |
| 收稿时间： | 2014-07-30 |
A Method for Compensating Interpolation Error of Absolute Linear Encoder |
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| Abstract: | |
| Keywords: | measurement interpolation error Fourier analysis absolute linear encoder moire fringe |
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