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GaN材料生长研究
引用本文:章其麟,秦国刚.GaN材料生长研究[J].半导体情报,1997,34(5):6-9.
作者姓名:章其麟  秦国刚
摘    要:用常压MOCVD方法我们在蓝宝石,Si衬底上,成功地制备出GaN单昌薄膜材料,取得了GaN材料的初步测试结果,纯度GaN为n型,载流子浓度为10^^17-10^18cm-^-3,迁移率为200-350cm^2/V.s.双晶衍射半峰宽为7‘,室温PL光谱本征发光波长为370nm,并首次观察到掺ZnGaN呈p型电导。

关 键 词:氮化镓  发光二极管  外延生长
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