| VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池 |
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| 引用本文： | 吴志猛,雷青松,赵颖,耿新华,奚建平.VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池[J].人工晶体学报,2005,34(6):1122-1125. |
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| 作者姓名： | 吴志猛 雷青松 赵颖 耿新华 奚建平 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071 |
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| 摘 要： | 利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜.运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响.随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降.将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87;.
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| 关 键 词： | 微晶硅 硅烷浓度 太阳电池 |
| 文章编号： | 1000-985X(2005)06-1122-04 |
| 修稿时间： | 2005年4月8日 |
Hydrogented Microcrystalline Silicon Films and Single Junction Solar Cell by VHF-PECVD |
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| WU Zhi-meng,LEI Qing-song,ZHAO Ying,GENG Xin-hua,XI Jian-ping.Hydrogented Microcrystalline Silicon Films and Single Junction Solar Cell by VHF-PECVD[J].Journal of Synthetic Crystals,2005,34(6):1122-1125. |
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| Authors: | WU Zhi-meng LEI Qing-song ZHAO Ying GENG Xin-hua XI Jian-ping |
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| Institution: | WU Zhi-meng1,LEI Qing-song1,ZHAO Ying2,GENG Xin-hua2,XI Jian-ping1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microcrystalline silicon silane concentration solar cell |
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