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| 光学和半导体元件的表面检查仪 | |
| 引用本文： | 初雪.光学和半导体元件的表面检查仪[J].光学技术,1978(1). |
| 作者姓名： | 初雪 |
| 摘 要： | 前言大多数抛光的光学零件在提交用户之前至少要进行一次表面疵病检验,而且在生产的好几道工序中都要进行表面疵病的检验。为了保证零件获得充分的抛光并且表面没有道子、划痕或麻点就需要表面检查仪。它的任务是确保零件的用途和用户满意,同时又要使工厂保持足够的产量。虽然表面疵病这个被检参数能够在客观公差范围内定量确定,但检验工作却是相当困难的,而且由于检验依赖于主观评定, |
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