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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
STM在微细加工中的应用
作者姓名:
王大文
白春礼
摘 要:
已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结构可能是由于污染物或针尖材料在表面上的沉淀而产生的.当样品表面有覆层或处于特定的气体或液体氛围下时,用STM仍可在其上产生各种细微结构,其主要方法可分为两类,其一是电子束光刻,其二是电子束辅助淀积和刻蚀,以下分别进行讨论。
关 键 词:
抗蚀膜
单个原子
淀积物
微细加工
隧道电流
样品间
样品表
聚焦电子束
电子束光刻
底表面
收稿时间:
1991-03-12
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