| 椭偏仪数据处理及误差修正 |
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| 引用本文： | 陈云锋,陈炳若.椭偏仪数据处理及误差修正[J].光电子技术,2006,26(3):208-210,216. |
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| 作者姓名： | 陈云锋 陈炳若 |
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| 作者单位： | 武汉大学物理科学与技术学院,武汉,430072;中国科学院传感技术国家重点联合实验室,上海,200050;武汉大学物理科学与技术学院,武汉,430072;中国科学院传感技术国家重点联合实验室,上海,200050 |
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| 摘 要： | 提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案，设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件，并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法，使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片（厚度20nm～1μm），用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正，使最终的误差小于1％。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。
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| 关 键 词： | 椭偏仪 薄膜厚度测量 误差修正 软件 |
| 文章编号： | 1005-488X（2006）03-0208-03 |
| 收稿时间： | 2006-02-16 |
| 修稿时间： | 2006-02-16 |
Data Processing and Error Correcting of Ellipsometer |
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| CHEN Yun-feng,CHEN Bing-ruo.Data Processing and Error Correcting of Ellipsometer[J].Optoelectronic Technology,2006,26(3):208-210,216. |
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| Authors: | CHEN Yun-feng CHEN Bing-ruo |
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| Institution: | 1. School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, CHN; 2. State Key Laboratory of Transducer Technology, The Chinese Academy of Science, Shanghai, 200050, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ellipsometer measuring thickness of thin film error correcting software |
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