辉光放电质谱仪的校准

建立了辉光放电质谱仪的校准方法。校准项目包括检测器噪声、分辨率、灵敏度、检出限、示值误差及重复性。经多家实验室的共同试验比对,提出并验证了计量性能指标,对示值误差进行了不确定度评定。其中,检测器噪声不大于1 c/s。在中分辨率模式下,分辨率不小于3500,灵敏度不小于1×10^(9) c/s。在高分辨率模式下,分辨率不小于8000,灵敏度不小于1×10^(8) c/s。检出限不大于7×10^(–7)%。示值误差不大于±20%。重复性不大于10%。该方法为辉光放电质谱仪的计量性能评价提供参考,推动相关计量技术规范的制定。