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| 用于检测光栅线密度的长程面形仪系统 | |
| 引用本文： | 吴新朴,韦怀坤,刘正坤,邱克强,徐向东,洪义麟.用于检测光栅线密度的长程面形仪系统[J].光学学报,2021,41(6):140-148. |
| 作者姓名： | 吴新朴 韦怀坤 刘正坤 邱克强 徐向东 洪义麟 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家科技重大专项 |
| 摘 要： | 衍射光栅已被广泛应用于同步辐射光源软X射线与真空紫外光栅单色器中,光栅线密度偏差会直接影响单色器的性能.为了检测光栅线密度的偏差,本文在合肥先进光源预研过程中搭建了长程面形仪(LTP)系统.使用自准直仪对LTP检测光栅系统在26 μrad内的检测精度进行了标定.利用LTP对自主研制的760 line/mm与2400 l... |
| 关 键 词： | 测量 长程面形仪 等间距光栅 线密度均匀性 |
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