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| 影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析 | |
| 作者姓名： | 王义全 陈笑 邹斌 蔡园园 黎仪艺 李传波 彭洪尚 |
| 作者单位： | 中央民族大学理学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目,项目编号：61975247,61675238； |
| 摘 要： | 基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一.该测量方法可获得较高的测量精度.但是在实际干涉测量中，膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系.基于薄膜干涉的基本原理，分析了光束的发散角、薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响，这对学生正确理解基于干涉的测量原理，掌握正确的测量方法，提高测量精度具有一定的指导意义. |
| 关 键 词： | 等厚干涉 等倾干涉 测量精度 |