|
|||||
|
|
| 单电容式及差分电容式HEMS传感器检测系统 | |
| 引用本文： | 郭斌,陈士清.单电容式及差分电容式HEMS传感器检测系统[J].电子产品世界,2008(3):142-144. |
| 作者姓名： | 郭斌 陈士清 |
| 作者单位： | 中科院上海微系统与信息研究所,传感器国家重点实验室,上海,200333 |
| 摘 要： | 传感器技术是信息社会的四大支柱之一,传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间.在传感器家族中,根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位.电容传感器是很好的状态传感器,可提高电容检测,尤其是微小电容检测的精度,是目前测控技术的热点.本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路,该套电路可测物体的运动加速度,加速度计的分辨率可达2-18. |
| 关 键 词： | 电容式传感器 MEMS 信号调理 检测电路 |
The Electronic Circuit Testing System of Single and Double MEMS Capacitance Sensor |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |