飞秒激光双光束干涉高效率地制备硅表面超亲水结构 |
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作者单位: | 华东师范大学 精密光谱科学与技术国家重点实验室,上海 200241;上海电机学院 文理学院,上海 201306 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;上海市科学技术委员会;强场激光物理国家重点实验室开放基金 |
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摘 要: | 利用飞秒激光双光束干涉技术,结合柱透镜线扫描技术,在30 s内制备了面积为10 mm×10 mm的微米-纳米复合结构,极大地提升了激光加工效率。飞秒激光刻蚀后的硅表面包含双光束干涉引起的长周期微米结构,以及飞秒激光诱导的纳米周期结构。微米-纳米复合结构极大地提升了表面粗糙度,在毛细效应的作用下,硅在空气中显示出超亲水性,接触角从40°降为0°。测量烧蚀前后硅表面的X射线光电子能谱,发现激光加工后硅表面的Si-OH和H_2O分子的含量分别增加22.3%和13.6%,这进一步增强了硅表面的亲水性。随着激光照射功率的增加以及扫描速度的下降,硅表面接触角逐步下降。本文研究为高效制备大面积超亲水结构提供了新方法,在热传导、生物芯片等领域具有潜在的应用价值。
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关 键 词: | 飞秒激光 双光束干涉 硅 微米-纳米复合结构 超亲水 |
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