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1310 nm高功率超辐射发光二极管的制备及性能研究
作者姓名:王拓  陈红梅  贾慧民  姚中辉  房丹  蒋成  张子旸  李科学  唐吉龙  魏志鹏
作者单位:长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123;长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022
基金项目:国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;吉林省科技发展计划
摘    要:为优化1310 nm超辐射发光二极管输出性能,提高器件输出功率,针对J型波导结构的1310 nm超辐射发光二极管的波导结构参数及器件散热能力进行研究.结果表明波导刻蚀深度、弯曲角度和绝缘层厚度是影响器件实现高功率输出的重要因素.基于研究结果对超辐射发光二极管器件结构及工艺进行优化,制备出脊宽5μm、弯曲角度8°、刻蚀深...

关 键 词:超辐射发光二极管  J型波导  波导损耗  模拟分析  输出性能
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