1310 nm高功率超辐射发光二极管的制备及性能研究 |
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作者姓名: | 王拓 陈红梅 贾慧民 姚中辉 房丹 蒋成 张子旸 李科学 唐吉龙 魏志鹏 |
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作者单位: | 长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123;长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;吉林省科技发展计划 |
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摘 要: | 为优化1310 nm超辐射发光二极管输出性能,提高器件输出功率,针对J型波导结构的1310 nm超辐射发光二极管的波导结构参数及器件散热能力进行研究.结果表明波导刻蚀深度、弯曲角度和绝缘层厚度是影响器件实现高功率输出的重要因素.基于研究结果对超辐射发光二极管器件结构及工艺进行优化,制备出脊宽5μm、弯曲角度8°、刻蚀深...
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关 键 词: | 超辐射发光二极管 J型波导 波导损耗 模拟分析 输出性能 |
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