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| 基于发射光谱的微波等离子化学气相沉积中的电子温度诊断 | |
| 作者姓名： | 陈驰 张朝阳 傅文杰 鲁钝 黄同兴 鄢扬 |
| 作者单位： | 电子科技大学 电子科学与工程学院,成都 610054 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金;四川科学技术计划;四川省太赫兹科学技术重点实验室基金 |
| 摘 要： | 在气压40～80 Pa和微波功率400～800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断.实验结果表明,OES法测试得到的电子温度介于0.75 eV到4 eV之间.在含碳气体的微波同轴线型等离子体中使用OES方法进行诊断是可行的,这些研究结果可以进一步拓展OES方法在等离... |
| 关 键 词： | 电子温度诊断 微波等离子体 朗缪尔探针 发射光谱 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |