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| 衬底温度对电子束沉积ZnSe薄膜性能影响研究 | |
| 作者姓名： | 赵广宇 徐莉 范杰 张家斌 兰云萍 邹永刚 马晓辉 |
| 作者单位： | 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022 |
| 基金项目： | 吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省教育厅十三五科学技术项目 |
| 摘 要： | 为了研究衬底温度对硒化锌薄膜微观结构和光学特性的影响,采用电子束蒸发技术在K9玻璃基底上制备了单层的硒化锌薄膜.通过研究薄膜的X射线衍射谱、透射光谱特性、表面形貌及粗糙度,分析了不同衬底温度下薄膜微观晶体结构和光学特性的变化规律.实验结果表明:在20～200℃的衬底温度范围内制备的ZnSe薄膜均为具有(111)晶面择优... |
| 关 键 词： | ZnSe薄膜 衬底温度 电子束蒸发 微观结构 光学特性 |
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