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| 皮秒激光加工CVD单晶金刚石的特征和机理研究 | |
| 作者姓名： | 温秋玲 韦新宇 王华禄 崔长彩 陆静 胡中伟 姜峰 |
| 作者单位： | 华侨大学 制造工程研究院,福建 厦门 361021 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 为了探究皮秒激光加工金刚石的特征和材料去除机理,开展了皮秒激光加工CVD单晶金刚石微槽的试验和温度场仿真研究.利用场发射扫描电子显微镜检测了金刚石微槽表面和内部的微观形貌,实验结果表明,金刚石微槽边缘出现了微小崩边和微裂纹,微槽内部形成了周期约为255 nm和495 nm的纳米条纹.通过测量金刚石微槽宽度、深度、体积,... |
| 关 键 词： | 皮秒激光 金刚石 温度场 微槽 烧蚀特征 材料去除 |
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