| 用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析 |
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| 引用本文： | 陈德伟,李永平.用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析[J].强激光与粒子束,2003,15(5):455-458. |
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| 作者姓名： | 陈德伟 李永平 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学 物理系， 安徽 合肥 230026 |
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| 基金项目： | 国家863计划项目资助课题 |
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| 摘 要： | 对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化，使其具有更优的分频效果。在此基础上，对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析，给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许的误差范围。
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| 关 键 词： | ICF系统 分频光栅 占空比 塌边结构 允许误差 |
| 文章编号： | 1001-4322(2003)05-0455-04 |
| 收稿时间： | 2002/10/10 |
| 修稿时间： | 2002年10月10 |
Analysis on two technologic errors of color separation grating used for ICF |
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| chen de wei,li yong ping.Analysis on two technologic errors of color separation grating used for ICF[J].High Power Laser and Particle Beams,2003,15(5):455-458. |
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| Authors: | chen de wei li yong ping |
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| Institution: | Department of Physics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China |
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| Abstract: | In this paper, the depth of color separation grating applied in ICF system is optimized firstly for good separating effect. After this, duty cycle error and the trapezoid structure are analyzed. A probable scope of technologic error that make the color separation grating have good effect is given in the end. |
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| Keywords: | ICF system Color separation grating Duty cycle Trapezoid structure tolerance |
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