| 太赫兹飞行时间测厚法在大气环境中的应用 |
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| 引用本文： | 龚五林,李占锋,刘泉澄,邓琥,武志翔.太赫兹飞行时间测厚法在大气环境中的应用[J].应用光学,2023(4):809-815. |
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| 作者姓名： | 龚五林 李占锋 刘泉澄 邓琥 武志翔 |
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| 作者单位： | 1.西南科技大学制造科学与工程学院621010;2.西南科技大学信息工程学院621010;3.西南科技大学四川天府新区创新研究院610299; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(65105271)；西南科技大学博士基金(21ZX7143)。 |
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| 摘 要： | 太赫兹飞行时间（terahertz time-of-flight,THz-TOF）法具有快速、无损、高精度等优点，是厚度检测领域的新型发展方向。然而大气环境中水蒸气对太赫兹波存在较强的吸收，限制了THz-TOF法在大气环境中的应用。分析了THz-TOF法中太赫兹波在大气环境中的传播机理；提出了一种基于吸收模型的水蒸气消除方法；以两种塑料板样品为对象开展了应用研究。通过和干燥环境中测量的结果进行对比，结果表明：该方法能够有效消除水蒸气的干扰，实现大气环境中材料厚度和折射率的准确测量。
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| 关 键 词： | 太赫兹时域光谱 飞行时间 厚度测量 大气环境 |
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