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多源PCVD合成SiNx—SiOy和SiNx—SiCy复合膜

引用本文：	蓉佳.多源PCVD合成SiNx—SiOy和SiNx—SiCy复合膜[J].等离子体应用技术快报,2000(9):8-10.

作者姓名：	蓉佳

摘要：
关键词：	复合膜多源等离子体化学气相沉积
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