Ag离子注入对Si和SiO2表面的辐照改性

为了研究注入Ag离子对基底的辐照改性作用,利用MEVVA源将不同剂量的Ag离子注入到Si和SiO2玻璃片中形成Ag纳米颗粒,并测试了SiO2玻璃片的光透过率谱,2种基底的光致发光谱和纳米压痕实验。注入高压为45KV,束流1mA,剂量分别为:5×1015、2×1016、4×1016、5×1016、8×1016、9×1016和1×1017ions/cm2。对SiO2玻璃的紫外可见光透射光谱分析表明在低剂量时400nm处有一吸收峰,当剂量达到1×1017时在450nm处出现伴峰。对比Ag离子注入前后Si和SiO2基底的光致发光谱后分析了Ag离子注入对基底发光性能的影响。通过纳米压痕测试表征了掺入Ag后基底的纳米硬度和弹性模量的变化。观察TEM样品得到了基底中Ag纳米颗粒的大小,形貌和分布等情况。