摘 要: | TN2522006010415X切H∶LiNbO3光波导的工艺仿真研究=Technical mod-eling of X-cut H∶Li NbO3optical waveguides刊,中]/黄韬(中国航天时代电子公司研究院.北京(100854)),金锋…∥光子学报.—2005,34(7).—996-1000对于X切H∶Li NbO3光波导,在532nm和1310nm波长下,用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究。对于在150、180、200℃用苯甲酸质子交换的光波导,分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线,在此基础上给出质子交换的扩散系数与交换温度的关系曲线。对于在180℃质子交换并在350℃退火的光波导,给出以交换时间(交换厚度)为参变量的表…
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