| LTCC在微流控系统中的应用 |
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| 引用本文： | 秦跃利,高能武. LTCC在微流控系统中的应用[J]. 电子元件与材料, 2014, 0(11) |
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| 作者姓名： | 秦跃利 高能武 |
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| 作者单位： | 中国西南电子设备研究所,四川 成都,610036 |
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| 摘 要： | 介绍了LTCC腔体和微流道的用途、结构形式以及腔体的制作方法。详细分析了LTCC空腔在层压和共烧时产生变形的原因。介绍了采用碳基牺牲材料以及无牺牲材料形成内埋置通道的方法。最后介绍了LTCC微流控系统在水质检测中的应用。
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| 关 键 词： | LTCC 微流控系统 综述 微通道 制作 内埋置 |
Overview on LTCC microfluidic device fabrication |
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| QIN Yueli,GAO Nengwu. Overview on LTCC microfluidic device fabrication[J]. Electronic Components & Materials, 2014, 0(11) |
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| Authors: | QIN Yueli GAO Nengwu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LTCC microfluidic device review microfluidics fabrication embedded |
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