测量精度达2.6°的光外差干涉仪用动态相位计 |
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引用本文: | 赵洪志,李达成.测量精度达2.6°的光外差干涉仪用动态相位计[J].激光与红外,1997,27(2):92-94. |
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作者姓名: | 赵洪志 李达成 |
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作者单位: | 清华大学精仪系!北京,100084,清华大学精仪系!北京,100084,清华大学精仪系!北京,100084 |
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摘 要: | 结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪,文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合的原理,不仅提高了测量精度,而且将测量范围得以扩大;利用锁相环频率跟踪的特点,实现动态测量。在工作中心频率为2MHz应用场合下,该相位计的测量精度达2.6°(相当于3.2nm),允许测量中最大多普勒频移±20kHz(对应高度的变化率±8.75×10^-3/ms),完全满足磨床加
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关 键 词: | 外差干涉 表面粗糙度 磨床加工 相位测量 |
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