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溶胶-凝胶法制备有机硅掺杂有机/无机复合疏水性减反射膜的研究
引用本文:刘会娟,陈宁,张清华,江波. 溶胶-凝胶法制备有机硅掺杂有机/无机复合疏水性减反射膜的研究[J]. 光学技术, 2007, 33(2): 308-310,314
作者姓名:刘会娟  陈宁  张清华  江波
作者单位:四川大学,化学学院,成都,610064;成都精密光学工程研究中心,成都,610041
基金项目:国家自然科学基金资助项目(10476012)
摘    要:以正硅酸乙酯(TEOS)和硅油为前驱体,在碱性催化体系中制备出有机硅改性二氧化硅溶胶,采用提拉法获得了具备疏水性能的二氧化硅减反膜。通过透射电镜、扫描探针显微镜、红外光谱、分光光度计、表面轮廓仪等多种方法研究了改性后的膜层性能。在高湿度环境中存放两周后,在波长确定的情况下,常规二氧化硅减反膜透过率由99.2%降到了96.5%,疏水改性膜层透过率仍然高于99%。与常规减反膜相比,疏水改性减反膜在高湿度条件下防止潮气侵蚀的性能得到了大幅度的提高。

关 键 词:疏水性  有机硅  溶胶-凝胶  二氧化硅减反膜
文章编号:1002-1582(2007)02-0308-03
收稿时间:2006-02-13
修稿时间:2006-02-13

Study on organic/inorganic hybrid organosilicon antireflective coatings by sol-gel technology
LIU Hui-juan,CHEN Ning,ZHANG Qing-hua,JIANG Bo. Study on organic/inorganic hybrid organosilicon antireflective coatings by sol-gel technology[J]. Optical Technique, 2007, 33(2): 308-310,314
Authors:LIU Hui-juan  CHEN Ning  ZHANG Qing-hua  JIANG Bo
Abstract:Monolayer high anti-reflective coatings are coated by sol-gel method with tetraethyl orthosilicate(TEOS) and silicon oil (MW≈500) as precursor and ammonia as catalyst. The performance is characterized by transmission electric microscopy (TEM),IR spectrum,ultraviolet-visible spectrophotometry,etc. The results show that the transmittance can be more than 99.5% ,the surface is smoth,and hydrophobic performance is raised.
Keywords:anti-reflective  tetraethyl orthosilicate  silicon oil  sol-gel
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