| 利用光聚合反应制作表面平整的聚合物光栅 |
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| 引用本文： | 周进波,孙长征,熊兵,王健,罗毅. 利用光聚合反应制作表面平整的聚合物光栅[J]. 半导体学报, 2005, 26(2) |
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| 作者姓名： | 周进波 孙长征 熊兵 王健 罗毅 |
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| 作者单位： | 清华大学集成光电子学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 提出利用紫外光聚合反应来制作聚合物光栅的方法.实验发现,光栅的表面起伏深度很小,约为12.4～0.7nm;折射率调制较大,达到0.010左右.这种方法在低阶分布反馈聚合物激光器的制作中具有很好的应用前景.
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| 关 键 词： | 光聚合反应 聚合物光栅 分布反馈 聚合物激光器 |
Polymer Gratings with Low Surface Relief Based on UV Photo-Polymerization |
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| Zhou Jinbo,Sun Changzheng,Xiong Bing,Wang Jian,Luo Yi. Polymer Gratings with Low Surface Relief Based on UV Photo-Polymerization[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(2) |
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| Authors: | Zhou Jinbo Sun Changzheng Xiong Bing Wang Jian Luo Yi |
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