| 表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响 |
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| 引用本文： | 黄见秋,黄庆安.表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响[J].半导体学报,2005,26(6). |
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| 作者姓名： | 黄见秋 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差.
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| 关 键 词： | 微开关 MEMS 接触电阻 粘连效应 |
Influence of Sticking Effect on Contact Resistances of a Microswitch |
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| Huang Jianqiu,Huang Qing'an.Influence of Sticking Effect on Contact Resistances of a Microswitch[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(6). |
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| Authors: | Huang Jianqiu Huang Qing'an |
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| Keywords: | |
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