| 液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对红外透射光谱的影响 |
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| 引用本文： | 王庆学,魏彦锋,杨建荣,何力.液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对红外透射光谱的影响[J].半导体学报,2005,26(5). |
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| 作者姓名： | 王庆学 魏彦锋 杨建荣 何力 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心,上海,200083 |
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| 摘 要： | 用多层模型和膜系传递矩阵计算了HgCdTe/CdZnTe外延薄膜的红外透射光谱,结果表明组分扩散区主要影响透射光谱的干涉条纹和透射率小于10%的区域,而组分梯度区则影响吸收边斜率.横向组分波动也将影响透射光谱的吸收边斜率,当组分均方差小于0.005时,横向组分波动对透射光谱影响可以忽略.用新的组分分布模型计算了HgCdTe/CdZnTe液相外延薄膜的理论透射光谱,并运用非线性二乘法使理论曲线能够很好地与实验结果吻合,从而获得了更加可信的HgCdTe外延薄膜的纵向组分分布和厚度参数.
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| 关 键 词： | 多层模型 膜系传递矩阵 HgCdTe外延薄膜 纵向组分分布 横向组分波动 |
Effect of LPE-HgCdTe Composition Ununiformity on Infrared Transmission Spectra |
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| Wang Qingxue,Wei Yanfeng,Yang Jianrong,He Li.Effect of LPE-HgCdTe Composition Ununiformity on Infrared Transmission Spectra[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(5). |
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| Authors: | Wang Qingxue Wei Yanfeng Yang Jianrong He Li |
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