| 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂 |
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| 引用本文： | 冯宗财,赵凌,王跃川,杜春雷. 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂[J]. 应用化学, 2006, 23(7): 762-0 |
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| 作者姓名： | 冯宗财 赵凌 王跃川 杜春雷 |
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| 作者单位： | a湛江师范学院化学系；b四川大学高分子材料工程国家重点实验室；c中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 教育部高校骨干教师资助计划;高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂;超支化聚合物;光致抗蚀剂;微透镜阵列
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| 关 键 词： | 超支化聚酯微光学光致抗蚀剂 超支化聚合物 光致抗蚀剂 微透镜阵列 |
| 文章编号： | 1000-0518(2006)07-0762-04 |
| 收稿时间： | 2005-07-24 |
| 修稿时间： | 2006-01-24 |
Resists from Hyperbranched Polyesters for Micro-optics |
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| FENG Zong-Cai,ZHAO Ling,WANG Yue-Chuan,DU Chun-Lei. Resists from Hyperbranched Polyesters for Micro-optics[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry, 2006, 23(7): 762-0 |
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| Authors: | FENG Zong-Cai ZHAO Ling WANG Yue-Chuan DU Chun-Lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hyperbranched polyester photoresist microlens array |
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