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光电子技术与器件 光学传感、传感器
摘    要:TP212.12 2005042921 光敏层电阻率非均匀分布对PSD定位影响的研究=Influ- ence of non-homogeneous resistivity in the photosensitive layer on position sensitive detectors刊,中]/陶忠祥(中科院长春光机所,吉林,长春(130033)),林明秀…//光学技术,-2005,31(1),-84-86,89 采用数值方法对光敏层电阻率的非均匀分布及对位置敏感探测器(PSD)的影响进行了研究,结果显示,在现有的制作工艺保障最大电阻率变化不超过1%时,电阻率的非均匀分布对四边形PSD的非线性影响很小,相比较之

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