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STM式三维nm级轮廓仪的研究

引用本文：	李文菊,张鸿海.STM式三维nm级轮廓仪的研究[J].华中理工大学学报,1996,24(7):34-36.

作者姓名：	李文菊张鸿海

作者单位：	机械科学与工程学院

摘要：
关键词：	检测扫描隧道显微镜轮廓仪
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