| 微机械生化传感器 |
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| 引用本文： | 于晓梅,尚庆虎,江兴流.微机械生化传感器[J].物理,2002,31(4):224-228. |
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| 作者姓名： | 于晓梅 尚庆虎 江兴流 |
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| 作者单位： | 于晓梅（北京大学微电子研究所,北京,100871）
尚庆虎（中国电子信息产业发展研究院,北京,100081）
江兴流（北京航空航天大学物理系,北京,100083） |
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| 摘 要： | 自从Clark和Lyons在1962年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世.这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能器转化为电信号.在众多的设计中,将活泼的生化敏感材料涂镀在硅器件表面是一个最有新意的设想.以往的硅生化传感器多设计为膜片式,器件的灵敏度受到限制.硅微机械悬臂梁是一种灵敏度极高的器件,近年来在传感器领域受到关注.文章总结了目前世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新发展动态.对几种硅悬臂梁的设计方法和工作原理进行了讨论,并给出了几种新型微生化气体和液体传感器检测不同有机分子和生物分子的结果.
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| 关 键 词： | 悬臂梁 敏感层 灵敏度 噪声 |
| 修稿时间： | 2001年5月11日 |
BIO-CHEMICAL SENSORS |
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