| 静电排斥型微机电系统变形镜驱动器 |
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| 引用本文： | 胡放荣,姚军.静电排斥型微机电系统变形镜驱动器[J].强激光与粒子束,2010,22(1). |
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| 作者姓名： | 胡放荣 姚军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院 光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209; 2. 桂林电子科技大学 电子工程学院, 广西 桂林 541004 |
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| 基金项目： | 中国科学院实验室创新基金，低维量子结构与调控教育部重点实验室资助课题 |
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| 摘 要： | 为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象,基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理,设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成,最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成,其它4组分别位于各条边上。中心质量块由4根L形弹簧支撑,每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点。利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真,结果表明,谐振频率高达4kHz,暂态响应时间小于0.05s。利用表面硅工艺加工出了驱动器,并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试,测得驱动器在70V激励电压下的形变量为1.4μm。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 自适应光学 静电驱动器 表面微加工 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
Microelectromechanical systems deformable mirror actuator based on electrostatic repulsive force |
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| Hu Fangrong,Yao Jun.Microelectromechanical systems deformable mirror actuator based on electrostatic repulsive force[J].High Power Laser and Particle Beams,2010,22(1). |
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| Authors: | Hu Fangrong Yao Jun |
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| Institution: | 1. State Key Laboratory of Optical Technologies for Microfabrication, Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. Department of Electronic Engineering, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China |
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| Abstract: | A novel microelectromechanical systems (MEMS) deformable mirror actuator based on electrostatic repulsive force is presented. The design is based on the principle that asymmetric electric field can generate repulsive force. The actuator can eliminate the pull-in effect which limits the reliability of the conventional electrostatic MEMS deformable mirrors. The actuator consists of five pairs of electrodes, the largest of which is composed of a central mass and a bottom electrode right below it, and the other... |
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| Keywords: | microelectromechanical systems adaptive optics electrostatic actuator surface micromachining |
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